低本钱、大产能
链式静态镀膜设计/镀膜工艺间距可调/镀膜顺序灵活可调
大产能设计,基于166硅片10000片/小时以上产能,兼容156-210硅片,本钱更低
RF+RPSC双电源设计,确保镀膜和自清洁互不滋扰,各自事情在更佳状态
配套自主设计的高精度自动化传输设备
来利国际w66股份与瑞士H2GEMINI公司积极相助,专注研发应用于HJT技术的新型PECVD工艺与设备,通过不绝实验与立异,最终取得了突破性进展,研爆发产的HJT太阳能电池PECVD非晶硅薄膜设备具有产能大、本钱低等优点。
具备自有知识产权
与瑞士H2GEMINI公司相助联合开发
欧洲团队协助原型机计划验证